半导体AMHS技术发展趋势
AMHS的起源可以追溯到1980年代。为了提高生产效率、减少晶圆在不同设备之间的搬运时间,半导体制造商开始研发自动化的物料搬运系统。该系统能够将晶圆从存储位置自动搬运到加工设备,然后再将加工完成的晶圆自动送回到存储位置。
众所周知,半导体制造的工序多而复杂、设备昂贵、对作业环境和物料搬运要求高、对设备效率和产品良率非常敏感。自动化物料搬运系统的出现,大大提高了半导体制造的生产效率和良率,减少了人力成本和人为失误。随着半导体工业的发展,AMHS逐渐被广泛应用于全球的半导体制造厂。在AMHS的帮助下,半导体制造商可以更好地实现自动化生产和质量控制,提高生产效率和产品良率。
同时,伴随着新兴技术的发展,AMHS也体现出以下趋势。
(一)AI赋能进一步优化物料搬运流程
随着AI深度学习算法的发展和大模型的快速迭代,为细分领域定制化打造的AI算法或工业大模型在未来有望嵌入到终端应用。在软件系统中引入AI有助于AMHS系统提升定制化服务、人机交互、自适应控制、智能分析与决策、故障预测与维护等能力,从而进一步优化整体物料搬运过程,提升稼动率和产品良率,为客户实现降本增效。
定制化服务
AI可根据客户不同的需求和场景,基于大量实验数据和经验知识,协助工程师进行仿真模拟和优化设计,更快开发出高效节能、结构合理的定制化AMHS解决方案,通过个性化定制,更好满足客户需求,提高市场竞争力;
人机交互
通过自然语言的算法处理技术,AI将显著改善人机交互,使操作人员可通过更加直观和自然的语言命令来指挥和监控AMHS设备的运行;
自适应控制
AI将改进AGV等移动设备的路径规划和避障策略,使其在复杂的生产环境中实现更加精准的自主导航,并帮助设备在面临不同工况或突发变化时快速做出调整,以提升整体系统的稳定性和灵活性;
智能分析与决策
AI将通过神经网络训练、处理和分析海量数据后为AMHS设备提供更精确的调度策略,最大程度减少闲置设备并预防交通拥堵;
故障预测与维护
利用AI进行预测性维护,通过对历史运行数据的学习和模式识别,提前发现AMHS系统的潜在故障风险,减少非计划停机时间和维护成本。
(二)HID无线供电技术将进一步渗透AMHS
在AMHS行业,基于无线供电的物料搬运天车及其控制解决方案因取电便利、节省功耗等原因,近年来已快速渗透各晶圆制造厂,并逐渐替代有线供电解决方案。与传统的有线供电相比,无线供电技术让用电设备无需连接电源线,不受距离限制,不仅避免了线路浪费和断电隐患,也提高了设备使用的便利性、可靠性和安全性。
非接触式供电单轨系统(HID)主要分为四部分:
1、HID电盘将商业电源转换为适合进行无接触式供电的频率,再向控制线缆输送电力;
2、控制沿行走移动装置轨道铺设的特殊电缆,令该电缆周围产生磁场,以实现向移动装置的高效电力输送;
3、拾音线圈与控制电缆相对缠绕在移动装置上,接收从控制电缆磁场发来的电力;
4、受电单元稳定拾音线圈接收到的电力、向变频器及伺服驱动器等提供优质电力。
澳门新甫京娱乐娱城平台自主研发的HID具有以下特点:
自主研发:采用低频率(19.2KHz)设计,避免对于RFID reader及工艺设备的干扰。
自研优势:采用Power cable(非Litz wire)来降低安装之成本及过热风险。
冗余设计:整合超级电容及双边HID供电,当一个PSP断电,OHT亦能运作,避免对生产造成传送中断。
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