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Stocker晶圆存储立库

适用于洁净生产车间内物料的自动搬运及存储,助力半导体工厂Fully Auto

高可靠结构设计 丨 HID非接触供电 丨 搬运过程低震动 丨 智慧化仓储管理 丨支持跨楼层 丨 尺寸可定制

痛点

1、人工搬运效率低、精度低

人工搬运效率低,容易造成设备等待从而影响产能,同时人工搬运精度低、振动性强,容易造成晶圆碎片或者影响良率;

2、招工难问题突出

普遍存在招工难、人工贵、管人难等问题,人员流失率高,进一步要求仓储自动化

3、空间利用率低

料架等存储高度有限,为保证连续稳定生产,产线边堆积大量库存,侵占生产空间

4、信息孤岛影响生产

产线工艺流程复杂,生产过程离散,设备之间数据不共享,存在信息孤岛,导致物料供应不及时等问题

核心优势

  • 国内首家研发生产Tower Stocker
    于2022年12月交付首台;涵盖8”/ 12”料盒应用
  • 交付实绩50+,具有超高适用性
    交付实绩50+,自研HID供电及光通讯,核心结构持续优化;高度配合现场实际需求,为客户实现定制功能开发与系统设计
  • 行业领先的高可靠性
    关键零部件结构设计进行应力分析及疲劳测试;完备的质量管理,严格把控制造与安装精度;工厂端出厂条件:FAB实景模拟,7*24 零异常;工厂端实测XYZ三坐标振动均小于0.35G
  • 最快3个月内交付,7*24服务响应
    完善的供应链体系,专业的项目交付团队及安装施工团队,最快2.5个月设备交货,3个月交付客户;交付及售后服务7*24 On-call,最快2小时内响应,4小时内到场

应用场景

晶圆存储

Stocker用于FOUP/SMIF Pod等多种载具的储存,采用连续性结构设计、提高耐震性和储存密度,提供智慧性储位管理,减少出库时间,提高传送效率

跨楼层物料传输与存储

Tower Stocker适用于半导体洁净室跨楼层间的物料自动存储传输;可定制设备高度,最高可实现三层楼间物料传输及暂存

案例

了解更多案例>

半导体晶圆存储成功案例

项目背景:晶圆厂的工序布局、物料传输和产线排布产生固化,影响生产效率、成本控制和产品质量的优化;不论是Bay to Bay传输还是Tool to Tool传输,完全依赖人工,中转和缓存效率低,严重制约产能提高

解决方案:
Stocker专为半导体晶圆厂设计,与OHT等自动化设备的协同作业构建起高效的自动化仓储系统
引入STKC控制系统,实时追踪库存和物料流动,提升产品质量和制造过程可追溯性,实现自动化物料管理
针对账料不符的情况,通过STKC控制系统与MCS物料控制系统配合,可实现实时在线对单个FOUP、指定区域FOUP以及全体FOUP进行盘点作业,提升效率及品质

价值收益:
空间利用率高
传输安全性高
产线洁净度高






功能模块

用于洁净车间内晶圆生产过程中晶圆载具的自动存储,平衡设备及工艺间产能的差异;能够与上位系统进行通讯,实现帐料自动管理,并根据洁净车间可利用空间,定制不同尺寸的各类型Stocker,实现空间利用率最大化

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